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CRYOX80低温真空探针台产品配置案例(清华大学)
发布者:admin  发布时间:2014-6-20 浏览第24

CRYOX80低温真空探针台产品配置案例(清华大学)

 

我公司与清华大学合作,提供CRYOX80型真空探针台的设计;

产品主要应用在半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等生产制造领域。真空探针台的设计,主要应用于低温或高温环境下样品的电学性能测试,我公司CRYOXVAC系列真空探针台具有设计合理,真空度稳定,温控精度高等特点;

 

 

配置规格:

主体型号

CRYOX80

显微镜配置

单筒视频显微镜

视频成像配置

CCD/C-MOS相机

真空卡盘尺寸

 2”样品载物台

真空室真空度

10-3Torr(10-5Torr可选)

主体隔振频率

固有频率3~5 Hz

容纳样品尺寸

50mm

探针座配置

MH800 4

其中两套安装纸漏电三同轴线缆及夹具

另外两套安装力学传感器装置

温度范围

室温至80K

温控温度

0.1

观察窗尺寸

75mm

探针杆配置

管式探针夹具,其它可选:弹簧式/ /高频/其它各类电学测试

线缆配置

三轴轴多层屏蔽线缆,其它可选:同轴 /高频/各类电学测试应用

接口配置

三同轴 可选:BNC或其它接口

仰角调节装置

可选(配合管式探针杆使用)

探针

钨针(直径可选)/高频探针/其它

可预留端口

8根力学传感器接口

其它根据用户需求定置

注:此配置案例根据清华大学用户应用提供;

了解详细配置信息请联系我们,针对于真空探针台我公司可根据用户使用需求定制完成;

 

公司标准类探针台简述:

一、 概述:

我公司Swin系列探针台产地:台湾,公司拥有近二十年探针台电学测试经验的技术团队,在电学测试领域有较高的信誉与知名度;具有产品价格适中,性能卓越,在行业内产品的对比中,性价比最高,其产品质量不亚于欧美日进口产品,并可根据用户特定需求设计非标准类探针台,如双面针台、龙门式半自动探针台等,凭借着优质的产品性能,较高的性价格,在国内地区得到了半导体行业、各高校及研究所的信任与支持,产品占有率逐步增大,我们力争做到国内电学测试探针台领域技术专业、性价比最高的探针台产品供应商;

二、 关于探针台产品的分类:

一般根据用户测试样品、测试环境、应用类别、产品级别以及操作方式分类,如下:

1)按测试样品分类,可分为:晶圆测试探针台、LED测试探针台、功率器件测试探针台、MEMS测试探针台、PCB测试探针台、液晶面板测试探针台、太阳能电池片测试探针台、材料表面电阻率测试探针台、纳米器件测试探针台;

2)按应用及测试环境分类,可分为:高频、射频及微波测试探针台、高/低温环境测试探针台、高/低温真空环境测试探针台、低电流(fA级)测试探针台、IC/IV /p-iv测试探针台、高压、大电流测试探针台、特殊气体环境测试探针台、磁场环境测试探针台、双面点针测试探针台、全封闭式探针台(非真空环境)

3)按级别分类可分为:经济型探针台、标准型探针台、分析型探针台、高端型探针台

4)按操作方式可分为:手动型、半自动型、全自动型

5) 按特殊应用测试分为:非标准类结构测试探针台

三、 探针台产品的应用领域:

包括半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等生产制造领域。

四、  探针台产品结构说明:

我公司专注于手动及半自动探针台设计与研发,将精密机械加工设计、电学测试、显微成像技术、高低温环境及温度控制、真空环境、全封闭式环境、噪声抑制、低电流、高压以及微弱信号测试、高频、射频、微波测试等应用结合为一体。

各标准类大气环境下的探针台组件构成如下:

   探针台本体 - 用于支撑显微镜以及放置探针座的台体,可放置不同精度及不同应用的探针移动装置,即探针座,主体结构的设计采用了高精度机械加工组件,在设计上考虑振动对电学测量的影响,采用了底部二层板的设计,结构合理,稳定性强,可搭配各类探针台应用组件;

     样品真空吸附固定载物台Chuck卡盘 - 一般为圆形(方型可选),根据样品尺寸可选择载物台尺寸,如4"6"8"12",在台面可放置被测晶圆、各类电子元器件、材料等样品,利用真空吸附固定各类样品,搭配静音低振动真空泵工作;不同尺寸卡盘上具有多层吸附孔,对于各类尺寸样品均可固定,卡盘可进行X/Y方向移动,Z轴方向上下升降,设计了快速升降结构,可实现对样品精确定位以配合点针操作;其中Chuck卡盘可根据温度要求,选择加热或低温制冷卡盘,一般标准类大气环境下选择使用加热卡盘居多,温度范围:室温至200/300/或其它,带有温控装置,温控精度0.1度;需要说明的是低温卡盘的选择一般为真空探针台配置,因低温时在大气环境下卡盘会有结箱现象,这样会影响样品的测试;

    显微成像装置 – 一般根据用户需要点针操作的样品分辨率来选择,配套组件包括:显微镜主体、物镜、视频成像装置以及粗微调装置;如样品分辨率要求在40微米以下,建议使用体式类显微镜,价格相对较低,如果要求更高分辨率,由可选择长焦金相显微镜,分辨率达微米级;对于视频成像的选择,可选C-MOSCCD成像装置;

    探针座– 配置选择根据移动精度可选<0.7微米的MH100型探针座或<5微米的MH300型探针座,两者均可配置仰角调节装置,可调角度45度;根据高频测试的应用可选择MH500型高频探针座;

    探针杆 – 用于固定探针并连接到测量仪器,根据漏电流的要求进行选择,一般分为弹簧式及管式,其中一端固定探针,另一端与半导体测量分析设备相连接,常见的Triax/BNC/SMA等连接接口。根据微弱信号测试,如nA/pA/fA级弱电流检测和射频微波信号测量,需要使用不同类型的探针杆;

    探针 - 主要分为DC(直流)探针与高频探针。DC(直流)探针主要根据样品Pad的尺寸等来选择,针尖直径(0.2um-200um)、探针形状(直针、弯针)与材料(金属钨或铍铜合金等)可选。最常用的直流测试使用钨材质直针,直接可选(1微米至20微米或其它)

    其他附件 – 以上为标准探针台的基本组件,其它组件可选:1. 屏蔽箱--隔离电磁波与光干扰,提高测量精度;2. 防震台--减少外围环境带来的振动影响;3. 探针卡--可提高检测效率;4. 各类转接头--可连接不同测试分析设备;5. 射频/微波探针--可测试除DC直流外的信号;6. 其它外围组件...