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离子束沉积系统 UHV-IBAD (Ion Beam Assisted Deposition system)
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产品型号:UHV-IBAD
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超高真空离子束辅助沉积(离子束辅助沉积系统)
基本压力:5×10-10托
10* 1“目标
反应性气体的选项

产品特高压物理气相沉积和测量系统的设计理念,结构紧凑。
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