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SP系列半自动量测探针台
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产品型号:SP4/6/8/Q
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相關產品介紹


SP150 DC/HF半自动量测探针台
可兼容DC测试、射频、高频、微波测试
直流到高频

结合多年的探针台量测设备经验所开发出更方便更有效率的量测系统,高完整性广泛应用于SemiconductorLED/MEMS等各领域

半自动量测探针台特点:

自动XYZ移动平台
搭配R轴手动校正
精确配合打点器操作
可输入移动座标及移动间距
6”真空吸附卡盘(4“、8“等其它尺寸选)

产品规格:

XY平台行程:150mm*150mm
速度:50mm/sec
分辨率:0.5μm
精度<10μm
重复定位精度<5μm

Z轴行程:5mm
  
速度:10mm/sec
  
分辨率:1.5μm
  
精度<10μm
  重复定位精度<5μm

外形尺寸:
宽度:700mm
高度:700mm
长度:800mm
重量:65kg

如需更多详细技术参数请致电或Email联系我们

联系电话:010-56212963  13581657381

电子邮箱:sales@ipa-china.cn